Η νέα διαδικασία βασίζεται επίσης στην EUV λιθογραφία. Επιπλέον, η Samsung πιστοποίησε τα full flow design εργαλεία τα οποία είναι απαραίτητα για την δημιουργία ενός αξιόπιστου και αποτελεσματικού σχεδιασμού.
Ο νέος σχεδιασμός θα προσφέρει 25% καλύτερο logic efficiency σε σχέση με την προηγούμενη γενιά, 20% λιγότερη κατανάλωση ενέργειας και 10% αυξημένη απόδοση. Σύμφωνα με αναφορές, η 5LPE διαδικασία χρησιμοποιεί περισσότερα EUV layers από την 7LPP διαδικασία.
Η νέα γραμμή παραγωγής αναμένεται να κοστίσει στην Samsung $4.615 δισεκατομμύρια και θα τελειώσει στην αρχή του νέου έτους, με τα chip βασισμένα στην 5nm διαδικασία να είναι έτοιμα για τα επόμενα flagship smartphone.
Σχόλια